OX400是一款使用氧化鋯技術(shù)的低水平氧氣分析儀。氧化鋯傳感器采用薄膜沉積技術(shù)，在氧化鋯元素和鉑層之間形成分子鍵，使傳感器更小，使用壽命更長。OX400 可用于控制和監(jiān)控各種半導(dǎo)體應(yīng)用，以及控制環(huán)境、空氣泄漏到惰性氣體和其他過程。

• OX400 結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，易于安裝，探頭設(shè)計(jì)便于更換電池和維修內(nèi)部組件。通過這種設(shè)計(jì)，電池傳感器可以在現(xiàn)場(chǎng)輕松更換。
• 其獨(dú)特的測(cè)量池設(shè)計(jì)的特點(diǎn)是，該測(cè)量池受污染物的影響較小，從而延長了傳感器的使用壽命和高測(cè)量靈敏度，同時(shí)減少了其他過程組件的不良影響。

• 測(cè)量系統(tǒng)：氧化鋯系統(tǒng)
• 樣品氣體條件
• 流速：200±25 ml/min（僅適用于傳感器）。
• 溫度：0-50°C（非冷凝）。
• 濕度：無冷凝。
• 壓力：泵和吸氣器：0-300 PaG無吸氣裝置：最大40 kPaG。
• 尺寸：213（寬）x 132（高）x約375（深）mm
• 重量：約5千克