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產(chǎn)品介紹
雙等離子體的組合可以用于獲得二維等離子體陣列。單個源以及2個，4個和8個平行排列的等離子體可用于等離子體輔助表面處理，如表面活化，蝕刻和沉積。雙等離子體是不使用磁場的直接微波等離子體源。在簡化的描述中，它類似于由微波激發(fā)的反向發(fā)光管，雙等離子體通常在約1000Pa至10Pa的低壓下操作。由兩個磁控管產(chǎn)生的具有2.45GHz頻率的微波在兩端被饋送到等離子體線中。在外部低壓狀態(tài)下放電點火，隨著微波功率的增加，等離子體從沿著管的兩端增長，并且形成軸向均勻的等離子體。
低壓微波等離子體源
可擴展和緊湊的設(shè)計
大面積應(yīng)用
高等離子體密度
高效率
低傷害
輕松適應(yīng)定制系統(tǒng)
規(guī)格參數(shù)
頻率：915MHz / 2450MHz / 5800MHz
HF-輸入功率：典型2 kW/ m @ 1 mbar
波導(dǎo)：同軸8/26
過程壓力：典型值0.1 mbar - 1 mbar
等離子體密度：在2450MHz時高達(dá)1012/ cm3
典型的過程氣體：ArO 2，N 2 H 2，NH 3，SiH 4，HMDSO
電子溫度：~2eV
同質(zhì)性：優(yōu)于5％
材料：
腔室：鋁
氣體噴淋：鋁
等離子體源：石英，AL2O3
冷卻：水/空氣合并
連接器：
同軸8/26（微波）
接頭套管（水，空氣，氣體）
尺寸：客戶特定
MW電源元件
MUEGGE短路活塞MW2009D-260ED
上海連航機電科技有限公司的業(yè)務(wù)所涉及的產(chǎn)品品類眾多、應(yīng)用廣泛，同類可互換產(chǎn)品選擇多樣化，專業(yè)技術(shù)團隊和銷售服務(wù)團隊可以滿足客戶關(guān)于產(chǎn)品選購、技術(shù)支持、項目集成等全方位的需求。主要產(chǎn)品品類有：物理參數(shù)檢測測量、自動化與工業(yè)IT、液壓、氣動、分析儀器、實驗室設(shè)備、制動傳動設(shè)備、電器元件、機床、工具、物流設(shè)備、工業(yè)機器、成套設(shè)備等。
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