KLA帶有 6 路連接器探頭與CDE工具制造的探頭非常相似，但探頭頭不可互換，因此應(yīng)格外小心，尤其是當(dāng)兩個系統(tǒng)都在現(xiàn)場使用時。CDE兼容探頭具有獨特的黑色物鏡轉(zhuǎn)換器。所有 Jandel 探頭都具有高水平的機械精度。通過視頻檢測系統(tǒng)和光學(xué)干涉儀驗證半徑、間距和平面度的規(guī)格。負載由電子測力計驗證。

• 高性能

• 探頭間距：0.500mm，0.635mm，1.00mm，1.016mm，1.27mm，1.591mm（針至針頭）
• 公差：+/- 10微米
• 布置：線性或方陣列
• 針頭：碳化鎢直徑為0.4mm（直徑為0.3mm的距離間距）
• 針頭選項：50％osmium合金提示可用
• 半徑：12.5、25、40、100、150、200、300、500微米
• 縮放到墊子：0.5毫米
• 平面性：+/- 0.025mm或更好
• 負載：固定在10克和250克之間
• 電氣泄漏：500伏特的針之間的1013歐姆電阻