iVacSens 系列真空傳感器模塊是較小的寬量程多功能組合真空計(jì)。iVacSens 具有全功能傳統(tǒng)真空傳感器的功能，校準(zhǔn)后即可交付使用。它專為在真空下操作的儀器（如質(zhì)譜儀和掃描電子顯微鏡）中的設(shè)備集成而設(shè)計(jì)。iVacSens 基于創(chuàng)紀(jì)錄的 SmartPirani MEMS 熱損耗傳感器，與傳統(tǒng)的線式 Pirani、對(duì)流規(guī)和傳統(tǒng) MEMS Pirani 相比，具有同類更好的性能、更寬的測(cè)量范圍和更高的精度。SmartPirani 傳感器技術(shù)與隔膜傳感器相結(jié)合，可在 2 至 1,333 mbar范圍內(nèi)進(jìn)行不受氣體影響的測(cè)量。

測(cè)量范圍寬達(dá) 7 個(gè) 10

用于過程控制的 3 個(gè)數(shù)字設(shè)定點(diǎn)輸出

模擬電壓輸出

數(shù)字 UART 接口

數(shù)字 RS-485 接口

遠(yuǎn)程零點(diǎn)調(diào)整

超緊湊設(shè)計(jì)

產(chǎn)地：丹麥

測(cè)量范圍：1x10^-6 至 13.33 mbar（7.5x10^-7 至 10 托）

測(cè)量原理 1x10^-6 至 13.3 mbar：MEMS Pirani 熱導(dǎo)率

精度 1x10^-5 至 9.99x10^-5 mbar：讀數(shù)的 25 %

精度 1x10^-4 至 9.99x10^-1 mbar：讀數(shù)的 5 %

精度 1.0 至 10 mbar：讀數(shù)的 30 %

磁滯 1x10^-3 至 9.99x10^-1 mbar：1 %

磁滯 1 至 10 mbar：10 %

真空溫度傳感器范圍：-20 至 + 85°C

真空溫度傳感器精度：+/-1.5 °C

傳感器溫度傳感器范圍：-20 至 + 85°C

傳感器溫度傳感器精度：+/- 1.5 °C

模擬輸出：0.2- 1.55 VDC (150 mV/decade mbar/torr)

模擬輸出分辨率：12 位

模擬輸出更新率：124 Hz

響應(yīng)時(shí)間：<20 ms

溫度補(bǔ)償：+10 至 +50 °C

設(shè)定點(diǎn)范圍（ABS）：5x10^-6 至 13.33 mbar（3.75x10^-6 至 10 托）

設(shè)定點(diǎn)輸出高電平：>2.9 VDC

設(shè)定點(diǎn)輸出低電平：<0.4 VDC

Max設(shè)定點(diǎn)輸出源電流和灌電流：1 mA

工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 °C

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 °C

存儲(chǔ)環(huán)境溫度：-40 至 +120 °C

烘烤溫度（非工作）：+120 °C

Max介質(zhì)壓力：10 bar （Abs）

安裝位置：任意

防護(hù)等級(jí)，EN 60529/A2:2013：IP 40

濕度IEC 68-2-38：98%，無(wú)冷凝

電源電壓：+3.3 VDC 或 4-18 VDC

功耗：25 mW（Max）3.3 VDC 電源；95 mW（Max）4-18 VDC 電源

質(zhì)譜儀、掃描電子顯微鏡、泄漏探測(cè)器、太空飛行系統(tǒng)、飛輪儲(chǔ)能、真空泵集成、閥門集成