SWAGELOK SCF 系列 UHP 氣體過(guò)濾器旨在滿足 SEMI E49.8-96 的嚴(yán)格要求。 憑借專(zhuān)有的 Membralox 陶瓷元件和 316L VAR 不銹鋼外殼，SCF 系列 UHP 過(guò)濾器是許多要求苛刻的氣體過(guò)濾應(yīng)用的解決方案。

Membralox陶瓷過(guò)濾技術(shù)

原裝 Swagelok  VCR 端面密封接頭

在大流速下 0.003 µm 顆粒去除率大于 99.9999999 %

流量達(dá) 2700 標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘

高顆粒去除效率

低的顆粒脫落

良好的的水分干燥特性

低的釋氣

良好的的化學(xué)相容性

高差壓等級(jí)

直列式全焊接結(jié)構(gòu)

大流速：30、225、600、900 和 2700 標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘

端接：1/4、1/2 和 3/4 英寸一體式外螺紋 VCR 面密封接頭； 1/4 英寸內(nèi)螺紋 VCR 面密封接頭