Entegris 采用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今流量控制的難題。InVue 集成流量控制器 (IFC) NT6510 專為超純液體化學(xué)品、去離子水和 CMP 泥漿的使用點化學(xué)品混合和分配而設(shè)計。NT6510 控制器還設(shè)計用于有效控制產(chǎn)生氣泡的介質(zhì)，專為需要中低流量的應(yīng)用而設(shè)計。它是目前較小的 InVue 集成流量控制器，為液體處理系統(tǒng)節(jié)省了寶貴的空間。我們的 IFC 采用成熟可靠的壓差流量測量技術(shù)和新型的閉環(huán)過程控制。可視化指示器可為預(yù)防性維護、故障排除和報警條件提供診斷，使用戶能夠集成更準(zhǔn)確的功能。閥座和隔膜的設(shè)計可大限度地減少死體積和流體剪切力，從而降低工藝污染的可能性。InVue IFC 的潤濕部件采用氟化材料，是保護化學(xué)完整性的適配選擇。此外，耐化學(xué)腐蝕的非潤濕部件在惡劣的化學(xué)環(huán)境中也能發(fā)揮優(yōu)良的性能。InVue IFC 采用雙聚四氟乙烯閥隔膜，用于流體密封和污染保護。利用電動閥和流量計技術(shù)，封裝的內(nèi)部電子元件可控制流量控制器的所有方面。這些裝置由設(shè)定點信號（例如 4 - 20 mA、0 - 10 VDC）激活，以將流體流量保持在所需的設(shè)定點。

與其他常用技術(shù)相比，在易產(chǎn)生氣泡的介質(zhì)中精度高

內(nèi)置壓力傳感器，可同時進行流量和壓力雙輸出

占地面積小，節(jié)省空間，易于安裝

重復(fù)性高，可實現(xiàn)優(yōu)良的過程控制

快速響應(yīng)，實現(xiàn)準(zhǔn)確的分配率

LED 狀態(tài)和離散報警輸出

產(chǎn)地：美國

潤濕部件材質(zhì)：

閥體、閥膜： PTFE；

傳感器接口： CTFE 或 PFA；

主 O 形圈： Perfrez PXC Ultra

非潤濕部件：聚丙烯、PVDF、Viton、聚氨酯和尼龍（除上述材料外）

工作范圍%：滿量程流量的 10 至 100

流量控制精度：± 全量程的 1 %（使用 23 °C [73 °F] 的去離子水校準(zhǔn)）

重復(fù)性：± 0.5 % 滿量程

壓力測量：0 至 414 kPa (0 至 60 psig)

壓力精度：± 全量程的 1 %

工作壓力：69 至 414 kPa (10 至 60 psig)

Min差壓要求：10 psi，差壓

輸出信號：兩個 4 至 20 mA 電氣隔離輸出，一個用于流量，一個用于壓力

響應(yīng)時間：< 3 秒

過壓限制：690 kPa (100 psig)

過程溫度：10 至 65 °C (50 至 149 °F)

電氣輸入：24 VDC（± 10 %），1.2 A

設(shè)定點輸入信號：4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC

外殼：IP64

重量：約 1.8 kg（4.0 磅）

符合認(rèn)證：CE

軟件：基于 Windows 的界面，用于用戶設(shè)置、校準(zhǔn)、監(jiān)控和數(shù)據(jù)收集

系統(tǒng)要求：Windows 7 或 10，8GB 內(nèi)存（Min）

當(dāng)前軟件版本 InVue TechTool 1.0.1.3

關(guān)鍵分配應(yīng)用、化學(xué)品添加和混合、按需化學(xué)混合