ATV3000 排氣壓力控制器用于控制真空室中的壓力。它還被制造用于控制大范圍的壓力。 由于控制器和閥門是一體制造的，因此無需使用額外的控制器，因此可以降低成本。 

• ATV3000智能排氣節(jié)流閥采用微步進電機和直接齒輪驅(qū)動器，提高閥門的分辨率。
• ATV3000 智能排氣節(jié)流閥采用高扭矩電機，因此即使在大型腔室中也可以安裝真空管路（例如 12 英寸）。
• ATV3000 智能排氣節(jié)流閥體即使在加熱到 150?C 后也可以使用。（不包括密封型）
• ATV3000智能排氣節(jié)流閥以FND顯示擋板位置，方便用戶從外部查看閥門是否工作。 它的設計使其可以在不與設備分離的情況下進行檢查。
• ATV3000智能型排氣節(jié)流閥，可根據(jù)客戶要求在訂貨時設置法蘭形式。
• ATV3000 智能排氣節(jié)流閥只能在外部提供直流電源（+24VDC）時使用。

• 速度（開到關）：1.5秒
• 驅(qū)動方式：直接齒輪傳動
• 閥門電機環(huán)境工作溫度：-20 到 +40