閥門(mén)處理半導(dǎo)體和其他加工中的應(yīng)用，常用于將泵和樣品入口鎖與 HV 或 UHV 工作室隔離。

閥門(mén)對(duì)行業(yè)的重要性幾乎與泵一樣重要。我們提供各種尺寸的閥門(mén)類(lèi)型。

• CF 法蘭（帶銅墊片）：在大氣中工作，壓力范圍為 10-11 托，可烘烤至 200°C（移除執(zhí)行器）
• 通用電拋光不銹鋼
• 1,100°C 真空釬焊，確保在 HV 和 UHV 壓力下可靠運(yùn)行
• 在緊湊的設(shè)計(jì)中提供高電導(dǎo)率
• 無(wú)沖擊運(yùn)行，振動(dòng)小
• 需要維護(hù)前的 100,000 次循環(huán)服務(wù)
• 提供手動(dòng)或氣動(dòng)操作
• 氣動(dòng)閥在斷電或氣壓損失的情況下關(guān)閉或保持關(guān)閉
• 所有氣動(dòng)5” 法蘭外徑和更大的型號(hào)包含用于位置指示的磁性 REED 開(kāi)關(guān)
• 氣動(dòng)閥配備 120VAC 電磁操作器，無(wú)需額外費(fèi)用（其他電壓，交流和直流，可根據(jù)要求提供）