Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計(jì)量閥和止回閥，其性能和純度均達(dá)到或超過(guò)所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供高可靠性和價(jià)值，而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專(zhuān)為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。我們所有閥門(mén)的設(shè)計(jì)均符合 SEMI 規(guī)范，具有良好的可靠性和性能，并與市場(chǎng)上所有競(jìng)爭(zhēng)系統(tǒng)兼容?？蛻?hù)須確保所選部件是符合其防護(hù)性能的適當(dāng)部件，同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。

模塊化隔膜閥

1.125" W 密封, 3 端口

氣動(dòng) N.O., 集成接頭

PEEK , 鎳 400, 更高純

純度

材料

底座材料

傳動(dòng)類(lèi)型

端口數(shù)

密封類(lèi)型

底座尺寸

產(chǎn)地：美國(guó)

工作壓力：真空至 150 psig

工作溫度：-10 至 150 ℃ (15 至 300 ℉)

底座尺寸：1.125 英寸

密封類(lèi)型：W 型密封

端口數(shù)：3 端口

主體材料：鎳 400

純度等級(jí)：更高純

閥座材料：Peek

執(zhí)行機(jī)構(gòu)特征：1/8" 快速斷開(kāi)連接

隔膜材料：elgiloy

流量系數(shù)：0.3 cv

潤(rùn)濕表面處理：5 ra

清洗：超聲波清洗

執(zhí)行類(lèi)型：氣動(dòng) n.o. 集成接頭

爆破壓力：4500 psig

執(zhí)行壓力：65 至 125 psig

流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案