作為E5□N-H的迭代機(jī)型，歐姆龍E5□D-H在保持操作便捷、成本優(yōu)勢(shì)的基礎(chǔ)上，針對(duì)半導(dǎo)體精密加工需求，全面提升溫度控制性能與設(shè)備開發(fā)效率，為行業(yè)客戶提供高性價(jià)比解決方案。

產(chǎn)品特性

半導(dǎo)體微型化與疊層化工藝要求溫控精度提升。

復(fù)雜工況下的外部干擾易引發(fā)溫度波動(dòng)，影響設(shè)備穩(wěn)定性，抗干擾能力需增強(qiáng)。

多樣化產(chǎn)品需求要求設(shè)備快速改造與組裝。

產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì) 

1、提升溫控性能，溫度分辨率可達(dá)0.01℃

E5□D-H搭載0.01℃的高分辨率，有助于在高溫條件下實(shí)現(xiàn)高精度溫控，提升產(chǎn)品良率。

2、外部干擾抑制功能，將溫度變化控制在最低限度

外部干擾抑制功能是一項(xiàng)控制功能，能夠針對(duì)可預(yù)測(cè)的外部干擾預(yù)先抑制溫度變化。通過外部干擾自動(dòng)調(diào)諧功能，自動(dòng)調(diào)整FF（前饋）操作量、FF動(dòng)作時(shí)間和FF等待時(shí)間。

3、易操作的設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)化安裝與維護(hù)

使用Push-In端子臺(tái)輕松接線，無(wú)需工具，插入即可，不易脫落。Push-In Plus端子臺(tái)可大幅削減配線工時(shí)，有效減少配線作業(yè)的負(fù)擔(dān)。

4、減少通信設(shè)置工時(shí)和通信時(shí)間

E5□D-H利用設(shè)備預(yù)置的通信協(xié)議庫(kù)，無(wú)需PLC通訊程序開發(fā)，實(shí)現(xiàn)“零編程”通信集成，減少通訊設(shè)定工時(shí)。通過集中管理，實(shí)現(xiàn)多臺(tái)溫控設(shè)備的批量配置，減少通信時(shí)間。

歐姆龍溫控器E5□D-H，以技術(shù)創(chuàng)新與用戶需求為導(dǎo)向，重新定義高精度溫控標(biāo)準(zhǔn)。通過高分辨率控制、干擾抑制功能、省人化設(shè)計(jì)，助力半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)與可持續(xù)發(fā)展，開啟精準(zhǔn)溫控新時(shí)代！