Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計(jì)量閥和止回閥，其性能和純度均達(dá)到或超過所有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供高可靠性和價(jià)值，而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。我們所有閥門的設(shè)計(jì)均符合 SEMI 規(guī)范，具有良好的可靠性和性能，并與市場上所有競爭系統(tǒng)兼容?？蛻繇毚_保所選部件是符合其防護(hù)性能的適當(dāng)部件，同時(shí)考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等因素。

模塊化止回閥

1.500" HF C 型密封

3 端口，側(cè)面

316L SST SEMI F20 VIM/VAR

標(biāo)準(zhǔn)表面處理

純度

材料

配置

端口數(shù)

密封類型

底座尺寸

產(chǎn)地：美國

工作壓力：3000 psig

零件類型：組合式止回閥

配置：側(cè)面

表面處理：16 Ra

工作溫度：-28 至 200 ℃（20 至 400 ℉）

彈簧材料：ELGILOY

底座尺寸：1.500" HF

密封類型：C 形密封

端口數(shù)：3 端口

閥體材料：316L SST semi F20 VIM/VAR

純度等級：標(biāo)準(zhǔn)表面處理

清潔：電拋光和鈍化

爆破壓力：12000 psig

密封材料：氟橡膠

流體輸送、半導(dǎo)體、制造業(yè)、集成解決方案